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真空計量(liang)泵泵的選(xuan)用

點擊次(ci)數: 信息來(lai)源:标龍計(ji)量泵 【打印(yin)此頁】【關閉(bi)

1、真空泵的(de)工作壓強(qiang)應該滿足(zu)真空設備(bei)的極限真(zhen)空👈及工作(zuo)壓強要求(qiu)。如:真空鍍(du)膜要求1×10-5mmHg的(de)真空度,選(xuan)用的真空(kong)泵的真空(kong)度至少要(yao)5×10-6mmHg。通常選擇(ze)泵的真空(kong)🧑🏽‍🤝‍🧑🏻度要高于(yu)真空設備(bei)真空度半(ban)個到一☁️個(ge)數量級。

  2、正(zheng)确地選擇(ze)真空泵的(de)工作點。每(mei)種泵都有(you)一定的工(gong)作壓強範(fan)圍,如:擴散(san)泵為10-3~10-7mmHg,在這(zhe)樣寬壓強(qiang)範圍内🧡,泵(beng)的抽速随(sui)壓強而變(bian)化❓,其穩定(ding)的工作壓(ya)強範圍為(wei)5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的(de)工作點應(ying)該選在這(zhe)個範圍之(zhi)内,而不能(neng)讓它在10-8mmHg下(xia)長期工作(zuo)。又如钛升(sheng)華泵可以(yi)在10-2mmHg下工作(zuo),但其工作(zuo)☂️壓強應小(xiao)于1×10-5mmHg為好。

  3、真(zhen)空泵在其(qi)工作壓強(qiang)下,應能排(pai)走真空設(she)備工藝過(guo)程中産生(sheng)的全部氣(qi)體量。

  4、正确(que)地組合真(zhen)空泵。由于(yu)真空泵有(you)選擇性抽(chou)氣,因而😄,有(you)🔆時選用一(yi)種泵不能(neng)滿足抽氣(qi)要求,需要(yao)幾種泵組(zu)🔆合起來,互(hu)相補充才(cai)能滿足抽(chou)氣要求。如(ru)钛升華泵(beng)對氫有很(hen)👌高的抽速(su),但不能抽(chou)氦,而三極(ji)型濺射離(li)子泵,(或二(er)極型非對(dui)稱陰極濺(jian)射離子泵(beng))對氩㊙️有一(yi)定的抽速(su),兩者組合(he)🈲起來,便會(hui)使真空裝(zhuang)置得到較(jiao)好的真空(kong)度。另外,有(you)的真空泵(beng)不能在大(da)氣壓⭐下工(gong)作,需要預(yu)真空;有的(de)真空泵出(chu)口壓強低(di)于大🎯氣✉️壓(ya),需要前級(ji)泵,故🈲都需(xu)要把泵組(zu)合㊙️起來使(shi)用。

  5、真空設(she)備對油污(wu)染的要求(qiu)。若設備嚴(yan)格要求無(wu)油時,應該(gai)選各種無(wu)油泵,如:水(shui)環泵、分子(zi)篩吸附泵(beng)、濺射離子(zi)泵、低溫泵(beng)等。如果要(yao)求不嚴格(ge),可以選擇(ze)有🧡油泵,加(jia)⛹🏻‍♀️上一些防(fang)油污染措(cuo)施,如加冷(leng)阱、障闆、擋(dang)油阱等,也(ye)能🌈達到清(qing)潔真空要(yao)求。

  6、了解被(bei)抽氣體成(cheng)分,氣體中(zhong)含不含可(ke)凝蒸氣,有(you)無顆粒㊙️灰(hui)塵,有無腐(fu)蝕性等。選(xuan)擇真空泵(beng)時,需要知(zhi)道氣體成(cheng)分,針對被(bei)抽氣體選(xuan)擇相應的(de)泵。如果氣(qi)體中含有(you)蒸氣、顆粒(li)、及腐蝕性(xing)氣🔴體,應該(gai)考慮在泵(beng)的進氣口(kou)管路上安(an)裝輔助設(she)備,如冷凝(ning)器✏️、除塵器(qi)等。

  7、真空泵(beng)排出來的(de)油蒸氣對(dui)環境的影(ying)響如何。如(ru)果環境不(bu)允許有污(wu)染,可以選(xuan)無油真空(kong)泵,或者把(ba)油蒸氣排(pai)到室外。

  8、真(zhen)空泵工作(zuo)時産生的(de)振動對工(gong)藝過程及(ji)環境有無(wu)💞影響。若工(gong)藝過程不(bu)允許,應選(xuan)擇無振動(dong)的泵或者(zhe)采取防振(zhen)動措施。

  9、真(zhen)空泵的價(jia)格、運轉及(ji)維修費用(yong)。


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